三氟化磷是一 種重要的磷化工 產品，具有非常 優 異的 蝕刻速率和 選 擇性，在被 蝕刻物表面不留任何 殘留物，同 時也是非常良好的清洗 劑。它主要 用於 製造有 機磷化合物，也用作 試 劑等。此外，三氟化磷 還 用於 發生 氣 體、氟化 劑、外延、 離子注入。在 無 機 鹽工 業中，三氟化磷作用重要，可生 產草甘膦等除草 劑， 敵百 蟲、 敵 敵畏、乙 醯甲胺磷等 殺 蟲 劑，磷肥以及植物生 長 調 節 劑乙烯利。同 時，三氟化磷也可 製備磷酸酯，例如磷酸三苯酯、磷酸三酚酯等；可 製備六氟磷酸 鋰、三氯氧磷、三氯硫磷、 亞磷酸等化 學品；可 製備高 純磷；可用作 醫 藥中 間 體，生 產磺胺嘧啶、磺胺-5-甲氧嘧啶等；可用作染料 縮合 劑、氯化 劑、催化 劑等；此外，高 純三氟化磷 還可用作半 導 體 摻 雜 劑。