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乾式真空泵原理

乾式真空泵是一種高效的真空泵,其工作原理主要基於以下幾個方面:

無油操作。乾式真空泵在運行時不會使用油或其他工作介質,這使得它們在處理對油污染敏感的套用時非常有用。

氣體排放。這類泵通過旋轉葉片或螺桿等機械方式將氣體從工作環境中排出。在泵內,氣體被轉移到低壓區域,最終通過特定的排氣口釋放到大氣中。

套用範圍。乾式真空泵適用於多種場合,特別是那些不希望微粒混入泵油中的工藝,如半導體製造等。它們也常用於需要高純淨度真空環境的科研或工業領域。

乾式真空泵的優點包括高效、清潔、低噪音運行,以及長壽命和低維護需求。這些特性使得乾式真空泵成為許多套用中的理想選擇。