乾泵是什麼

乾泵，也稱為乾式真空泵或無油乾式機械真空泵，是一種不需要使用油或其他液體作為工作介質的真空泵。

乾泵的主要特點包括無油操作、無水使用和無污染排放，它們通過機械方式，如氣體壓縮和排放，來實現真空，適用於各種需要高純度或精密環境的場合。乾泵的類型包括乾式螺桿真空泵和渦旋式乾泵，它們能在廣泛的壓力範圍內工作，從大氣壓力到極高真空度，且排氣口與大氣相通，能連續向大氣中排氣。

乾泵廣泛套用於半導體製造、冶金、塗料、乾燥、太陽能等工業領域，以及科學儀器中，如掃描電子顯微鏡。