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什麼是原子層沉積

原子層沉積(ALD)是一種先進的薄膜沉積技術,它能夠以單原子膜的形式將物質一層一層地鍍在基底表面。

這種技術主要用於研製前沿產品,其核心特點包括出色的保形性、埃級厚度控制、可調整的薄膜成分,以及自限性反應特性,這些特性使得每次反應僅沉積一層原子,從而在基底上形成固態薄膜,ALD技術在納米級尺度上精確控制物質成分和形貌方面表現出色,因此,它在微納電子納米材料半導體能源轉換等領域具有廣泛的應用前景。