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什麼是天線效應

天線效應是在芯片生產過程中,由於導體(如暴露的金屬線或多晶硅)收集電荷(例如,等離子刻蝕產生的帶電粒子)而導致電位升高的現象。

這種效應特別發生在導體長度較長時,因爲它們能夠收集更多的電荷,導致電壓升高。如果這些導體恰好只連接到MOS晶體管的柵極,那麼高電壓可能會擊穿薄的柵氧化層,從而導致電路失效。隨着工藝技術的發展,由於柵極尺寸的減小和金屬層數的增加,發生天線效應的可能性也隨之增大。

天線效應不僅影響芯片的成品率,還可能降低其可靠性,因此必須在設計和工藝過程中加以考慮和改進。在實際設計中,採取的措施包括在連線上插入反向偏置的二極管以放電積累的電荷,或在長連線上加入緩衝器以縮短其長度。