無塵車間
潔淨室，也稱爲無塵車間，是一種特別設計的房間，其主要功能是控制空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物，以及將室內溫度、潔淨度、壓力、氣流速度與分佈、噪音、震動及照明靜電控制在特定需求範圍內。這樣的環境可以滿足醫藥、食品、高精密儀器等產品對無菌無塵生產的要求。潔淨室根據不同的標準分爲百級、千級、萬級以及十萬級，其中級別越高，表示每立方米空氣中粒子數量越少，即潔淨度越高。
潔淨室的作用在於提供一箇良好的環境空間，使得產品如硅芯片等可以在控制好的大氣潔淨度和溫溼度中生產製造。無塵淨化級別是根據每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定的，而所謂的無塵並非完全沒有灰塵，而是將灰塵控制在非常微量的單位上。對於光學構造產品的生產，無塵是必然的要求，因爲即使是微小的灰塵也可能產生很大的負面影響。國際上，每立方米小於0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下達到A級無塵標準，而更高級別的芯片生產對灰塵的要求則更高，微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，即1K級別。
潔淨室的狀態可以分爲空氣潔淨室、靜態潔淨室和動態潔淨室。空氣潔淨室是指已經建造完成並可以投入使用的潔淨室，具備所有有關的服務和功能，但沒有操作人員操作的設備。靜態潔淨室則是指各種功能完備、設定安裝妥當，可以按照設定使用或正在使用的潔淨室（設施），但設施內沒有操作人員。動態潔淨室則是處於正常使用的潔淨室，服務功能完善，有設備和人員，可以從事正常的工作。