質量流量控制器(MFC)是一種用於精確測量和控制氣體或液體質量流量的設備。
它主要由流量傳感器、分流器、通道、流量調節閥、放大控制電路等部分組成。質量流量控制器能夠直接測量介質的質量流量，而不需要考慮溫度和壓力等條件的影響。其工作原理是利用傳感器測量被控制介質的質量流量，並通過反饋控制系統對控制閥門進行調節，以實現準確的質量流量控制。即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，質量流量控制器也能自動地將流量恆定在設定值上，確保生產和實驗的準確性和穩定性。
此外，質量流量控制器廣泛應用於工業生產和科研實驗中，如石油化工、冶金、製藥等領域。