微型電子機械系統
MEMS技術，全稱爲微型電子機械系統（Micro-Electro-Mechanical Systems），是一種將微尺度機械元件、集成電路以及光學器件等集成在一起的新型小型系統。這項技術可以將複雜的機械系統和電子系統結合，形成一箇協作的多學科系統，實現智能控制和檢測。MEMS技術的尺寸和厚度僅爲微米級別，能夠實現複雜的動態行爲，是微機電系統的基本技術。
MEMS技術可以用於生產微型傳感器和控制器等設備，其傳感器通常是低成本、高精度的慣性傳感器，可用於各種行業應用。例如，MEMS加速度傳感器由一對電容板之間的懸浮質量組成，當傳感器傾斜時，這種懸浮質量會產生電勢差異，這個差異被測量爲電容的變化。
此外，MEMS技術還廣泛應用於生物、化學分析系統，如生物MEMS技術可以製造化學/生物微型分析和檢測芯片或儀器，實現樣品的進樣、稀釋、加試劑、混合、增擴、反應、分離、檢測和後處理等分析全過程。
MEMS技術的發展方向包括陣列化、集成化和智能化，它不僅限於機械和電子領域，還擴展到了光學領域，如微光機電系統（MOEMS），它將MEMS結構件與微光學器件、光波導器件、半導體激光器件、光電檢測器件等集成在一起，形成一種全新的功能系統。