光刻cdu是 什麼意思

線 條均 勻性

光刻CDU是指 線 條均 勻性，它是 評 價先 進光刻 機性能的 一個重要指 標。光刻 機是一 種涉及光 學、 機械、 電 氣、 控制和 軟體等多方面 學科知 識的超精密 設 備，其性能通常通 過CDU、 對焦 控制精度（focus）、套刻精度（overlay）和 產能（productivity）等指 標 來 評 價。