分子泵是什麼

分子泵是一種用於創建高真空環境的設備，其工作原理是利用高速旋轉的轉子將動能傳輸給氣體分子，使氣體分子獲得定向速度並被壓縮排出。

分子泵通常由多個階段組成，包括離心機械泵和分子輪泵等。分子泵主要用於排除氣體分子，將氣體壓力降低到非常低的水平，因此在半導體加工、真空蒸發、光刻、電漿研究和質譜等領域有廣泛的套用。