四氟化矽（SiF4）是一種無機化合物，具有多種用途。以下是詳細介紹：
四氟化矽主要用於製造氟矽酸及氟化鉛。
四氟化矽用作水泥和人造大理石的硬化劑。
四氟化矽是電子和半導體行業中的一種重要氣體，用作矽化鉭、氮化矽等的蝕刻劑，P型摻雜劑，以及外延沉積擴散矽源，有助於製造電子級矽烷或多晶矽。
四氟化矽在高溫火焰中水解產生具有高比表面積的熱沉SiO2，可用於製作光導纖維用高純石英玻璃。
四氟化矽用於製造矽基半導體器件時的離子注入法。
四氟化矽還廣泛套用於生產太陽能電池元件、複印機感光鼓、特大規模積體電路等產業。
此外，四氟化矽還具有優良的絕緣性能、化學穩定性、高熱傳導性能和優異的質量控制特性，使其在半導體製造過程中扮演關鍵角色。