抽真空泵的工作原理主要可以分為以下幾種類型：
機械泵。這種泵利用機械運動將氣體壓縮並排放出去。它可以是單級泵或多級泵，其中多級泵的抽氣速率通常高於單級泵。
分子泵。分子泵通過高速旋轉的轉子將氣體分子從入口處沿著軸向運動，最終排至排氣口，具有高真空抽取能力。
擴散泵。擴散泵通過加熱工作氣體，使其通過熱擴散從低壓區域向高壓區域流動，形成真空。
水環泵。水環泵中裝有適量的水作為工作液。當葉輪旋轉時，水被拋向四周，形成封閉的圓環。這個圓環內的氣體被吸入並壓縮，最終通過油封排出。
往復式真空泵。通過活塞在氣缸內的往復運動，減小氣體體積，降低壓力，實現抽真空。
旋片式真空泵。通過旋轉的旋片將氣體吸入，然後通過壓縮排出。
螺桿式真空泵。通過兩個螺桿的旋轉運動，使氣體在泵內壓縮和輸送，達到抽真空的目的。
這些真空泵的工作原理都是基於不斷變化的氣體體積和壓力，通過機械、物理或化學方法將氣體分子從被抽空的空間中移除，從而在被抽空空間中形成低於大氣壓的壓力，達到抽真空的效果。