掩模版尺寸

掩模板的尺寸有多種，常見的尺寸為6英寸×6英寸，也有尺寸為5英寸×5英寸的，還有尺寸為4英寸的。掩模板上的主要圖形及尺寸包括線條寬度、線條間距、圓環半徑等，線條寬度有1um、1.2um、1.5um、1.8um、2um等，線條間距最小處有2um，圓環半徑有60um、100um、200um、400um等。此外，掩模板上還有方塊大小和方塊間距等尺寸。