精密的電子測試設備
晶圓探針臺是一種精密的電子測試設備，主要用於半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。
晶圓探針臺的主要功能是進行精密電氣測量，以確保產品質量和可靠性，同時也能縮減研發時間和降低製造工藝的成本。在半導體開發中，晶圓探針臺主要用於評估原型IC的特性、可靠性評估和缺陷分析。它主要用於晶圓加工之後、封裝工藝之前的CP測試環節，負責晶圓的輸送與定位，確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩定的信號。使晶圓上的晶粒依次與探針接觸並逐個測試，實現更加精確的數據測試測量。
晶圓探針臺通常包括載物臺、光學元件、卡盤、探針卡、探針夾具及電纜組件等部分。它能夠滿足12英寸、8英寸晶圓的測試需求，通過高精度定位平臺、高剛性晶圓承載臺和高分辨率仰視相機（探針相機）及俯視相機（晶圓相機），實現全自動上下晶圓料片、對針和高精度扎針，與測試機配合完成對晶圓上集成電路的品質檢測。