源檔案通常是指用彙編語言或高級語言編寫的代碼，保存為檔案後的結果。源檔案的格式主要取決於所使用的程式語言，一般採用程式語言的名字作為後綴命名。例如，Python源檔案的後綴是.py，C語言源檔案的後綴是.c，C++源檔案的後綴是.cpp，JavaScript源檔案的後綴是.js，C#源檔案的後綴是.cs，Java源檔案的後綴是.java。這些檔案都是純文本檔案，內部沒有特殊格式，可以使用任何文本編輯器打開。
在現代程式語言中，原始碼（也稱源程式）是指未編譯的按照一定的程式設計語言規範書寫的文本檔案，這種典型格式的目的是為了編譯出電腦程式。源檔案在軟體開發中，格式一般採用程式語言的名字作為後綴命名，如果是用記事本創建的就是純文本檔案，裡面一般沒有任何特殊的格式；其他軟體中，源檔案格式一般是軟體特定的後綴作為源檔案的格式，例如PS中源檔案格式就是PSD。
此外，office軟體從07年開始，對檔案格式進行了最佳化，即docx、pptx、xlsx，並一直沿用至今，且同時保留了原有的格式，而這兩種檔案格式都屬於源檔案。