真空斷路器的滅弧原理主要基於利用高真空度介質的高的絕緣強度和在這種稀薄氣體中電弧生成物（帶電粒子 和金屬蒸汽）具有很高的擴散速度。
當動、靜觸頭分開時，觸頭周圍的介質粒子發生電離、熱游離和碰撞游離，產生電弧。在絕對真空（實際上是不可能的，但真空度極高）中，由於沒有任何物質存在，電弧無法維持，從而實現電路的分斷。
電弧在真空滅弧室觸頭材料所產生的金屬蒸氣中燃燒，隨著電流減小，金屬蒸氣密度與帶電質點的密度都下降，最後在電流接近零點時消失，電弧隨之熄滅。此時，弧柱殘餘的質點繼續向外擴散，斷口間的介質絕緣強度迅速恢復，只要介質絕緣強度的恢復速度大於電壓恢復上升速度，電弧最終熄滅。
此外，由於觸頭特殊結構，在觸頭間隙中也會產生適當的縱磁場，促使真空電弧保持為擴散型，並使電弧均勻分布在觸頭表面燃燒，維持低的電弧電壓。