真空泵的分類方式多樣，主要包括以下幾種：
按工作原理分類。氣體傳輸泵，利用泵腔容積的週期性變化來完成吸氣和排氣過程，包括往復真空泵和旋轉真空泵（如油封式、旋片式、滑閥式等）。動量傳輸泵，依靠高速旋轉的葉片或高速射流將動量傳輸給氣體或氣體分子，如分子真空泵、噴射真空泵等。
按結構分類。機械式真空泵，包括往復式、旋轉式（如羅茨泵、液體環泵等），這類泵通過機械運動改變泵腔體積來實現抽真空。射流式真空泵，如水蒸氣噴射泵、文丘裏效應的噴射泵等，這些泵利用流體傳輸能量和質量來產生真空。
按工作介質分類。乾式泵，如干式螺桿真空泵、渦旋泵等，這些泵不使用液體或油類密封。非乾式泵，如旋片泵、擴散泵等，這些泵使用液體（如水或油）作爲工作介質。
按真空度分類。低真空泵，如旋片泵、羅茨泵等，適用於較低的真空度範圍。高真空泵，如分子泵、擴散泵等，適用於較高的真空度範圍。超高真空泵，如離子泵、鈦昇華泵等，適用於極高的真空度範圍。
此外，根據功能還有粗抽泵、前級泵、增壓泵等類型。這種分類有助於根據具體應用需求選擇合適的真空泵類型。