真空漏率是指單位時間內從相對負壓的封閉空間進入氣體的速率，其單位通常是帕斯卡立方米每秒(Pa·m³/s)或帕斯卡升每秒(Pa·L/s)。
真空漏率的大小直接影響真空設備的效率和穩定性，低漏率有助於提高設備的性能。真空漏率的標準依據實際套用場景而定，一般而言，低真空泵的漏率大約在10^-6Pa·m³/s量級，而高真空泵的漏率可以達到10^-11到10^-8Pa·m³/s量級。在不同真空狀態下，洩漏率的標準不同，例如，高真空狀態下洩漏率小於10^-10Pa·m³/s，低真空狀態下洩漏率小於10^-8Pa·m³/s。
真空漏率受多種因素影響，包括密封性能、設備製造工藝、材料選擇等。提高密封材料的質量、減少加工誤差、定期維護和保養等措施可以有效降低真空漏率。