真空隔膜泵的工作原理主要依賴於電機驅動的隔膜往復運動，通過這種運動，泵體內的空氣被壓縮和拉伸，從而形成壓力差，實現氣體的吸入和排出。以下是具體的工作過程：
在隔膜向內移動的過程中，氣體被壓縮，此時排氣口關閉，抽氣口打開，氣體被吸入泵腔。
當隔膜向外移動時，氣體被排出，此時排氣口打開，抽氣口關閉，壓縮的氣體從排氣口排出。
這種持續的往復運動使得氣體不斷從低壓區域吸入並被排到高壓區域，從而產生真空效果。隔膜通常由高強度的彈性材料製成，以保證氣體的密封性和泵的使用壽命。此外，泵腔的密封性能對於維持真空度至關重要，通常採用不鏽鋼等耐腐蝕材料製成，並加強密封設計。