矽烷法原理

矽烷法是一種利用矽烷（SiH4）作為原料的多晶矽製備工藝。其基本原理是將矽烷在高溫、高壓條件下熱分解，通過化學氣相沉積法在矽襯底上沉積形成多晶矽層。矽烷含有兩種不同化學官能團，一端能與無機材料表面的羥基反應生成共價鍵，另一端能與樹脂生成共價鍵，從而使兩種性質差別很大的材料結合起來，起到提高複合材料性能的作用。