臭氧（O3）的生成原理主要有自然產生和人為產生兩種方式。詳情如下：
自然產生。太陽光中的紫外線（UV）照射氧氣（O2），使氧分子分解成氧原子（O），然後這些氧原子與氧氣分子重新結合，形成臭氧。
人為產生。氮氧化物（NOx）和揮發性有機物（VOCs）在陽光照射下發生光化學反應，也產生臭氧。這些化合物主要由人類活動產生，如汽車尾氣、燃煤和工業排放。
此外，臭氧也可以通過高壓放電、電暈放電、電化學、光化學、原子輻射等方法生成。這些方法利用高壓電力或化學反應使空氣中的部分氧氣分解後聚合為臭氧，屬於氧的同素異形轉變過程。