良率，也稱為合格率，是產品質量的一個重要指標，它表示合格品量占全部加工品的百分比。在半導體製造業中，良率涉及多個層面：
生產線良率。指晶圓從生產線下線到成功出廠的機率。
晶圓良率。指一片晶圓上晶片的合格率。
產品良率。是生產線良率和晶圓良率的乘積，表示整個生產過程的合格率。
良率的計算公式為良品數量除以產品總數的百分比。在半導體生產中，良率不僅是一個量化指標，也是工藝改善的重要目標。良率受多種因素影響，包括缺陷數量、膜厚、尺寸精度、晶圓的平整度和均一度、以及設備的一致性和重複性等。這些因素共同決定了最終產品的合格率，進而影響生產成本和產品競爭力。