薄膜應力是什麼

薄膜應力是指在薄膜的製備和使用過程中，由於內部或外部因素產生的應力，這種應力會影響薄膜的性能和穩定性。

薄膜應力可能由多種因素引起，包括薄膜與基底之間的熱膨脹係數差異、晶格常數不匹配、沉積速率、材料結構等。這種應力可能導致薄膜從襯底表面脫落、襯底彎曲，或影響光學系統中鏡面的面形質量，因此,對薄膜應力的研究和控制對於確保薄膜耐久性和性能至關重要。