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退火的作用和原理

退火是一種金屬熱處理工藝,其主要目的是改善或消除材料在鑄造、鍛壓、軋制和焊接過程中造成的組織缺陷和殘餘應力,防止工件變形和開裂;軟化工件以便進行切削加工;細化晶粒,改善組織以提高工件的機械性能;為最終熱處理(淬火、回火)作好組織準備。

退火工藝包括完全退火、球化退火、等溫退火、石墨退火、擴散退火、去應力退火、不完全退火、焊後退火等。退火處理能夠提高材料的強度和韌性,改善材料的塑性和可加工性,提高臨界溫度,減少材料的內部應力,改善物理性能和表面質量。

在半導體行業中,退火用於修復材料缺陷、調整材料結構、消除應力,從而提高電導率和電學性能。快速熱處理(RTP)是一種先進的退火技術,它在極短的時間內將材料加熱至高溫,相比於傳統退火方法,它具有更少的熱預算和更快的處理速度。