電容傳感器的工作原理基於電容器的基本特性，即電容器兩極板之間的電容量（C）與它們之間的距離（d）、所覆蓋的面積（S）以及介電常數（ε）有關。當這些參數中的任何一箇發生變化時，電容器的電容量也會隨之改變。
電容傳感器可以分爲以下三種類型：
變極距型電容傳感器：當動極板（可動極板）因被測物體作用而移動，改變了兩極板之間的距離d，從而引起電容量變化。這種傳感器在Δd/d很小時，電容量與Δd近似爲線性關係，因此常做成差動形式以提高靈敏度和減少外界干擾的影響。
變面積型電容傳感器：動極板移動引起兩極板間有效覆蓋面積S的變化，導致電容量變化。這種傳感器的輸出特性在一定範圍內是線性的，靈敏度爲常數，適用於檢測直線位移、角位移、尺寸等參量。
變介電常數型電容傳感器：當被測非導電液體插入電容器兩極板間，液體的介電常數會影響電容器的電容量。這種傳感器適用於檢測液位高度等參量。
在實際應用中，電容傳感器的工作原理可以通過振盪器反饋電路來解釋。當物體靠近傳感器板時，反饋電容出現，導致振盪器開始振盪。觸發電路感應振盪水平並控制輸出端開關裝置的狀態，使得物體越遠離傳感器尖端時振盪幅度降低，而靠近時幅度增加。
綜上所述，電容傳感器的工作原理是通過測量電容量的變化來轉換成電量輸出，這種變化是由於被測物體的作用導致電容器參數（如極距、面積或介電常數）的改變。