去離子水 DI水，全稱為去離子水（deionized water），是一種經過處理清除了鈉、鈣、鐵、銅、氯化物和溴化物等礦物離子的純淨水形式。這種水在半導體製造等對水質有嚴格要求的套用中非常關鍵，因為它能夠提供超純的水質，滿足精密製程的需求。