edx原理

EDX（Energy Dispersive X-ray Analysis）是一種利用高能電子束或X射線照射樣品表面，激發樣品中的原子或分子，從而產生特徵X射線的技術。

這些特徵X射線具有特定能量，與樣品中元素的種類和含量相關。EDX系統通過檢測這些特徵X射線的能量和強度，可以對樣品中的元素進行定性和定量分析。具體來說，特徵X射線的能量或波長是特徵性的，與元素的種類一一對應，而特徵X射線的強度則與元素含量相關。EDX技術通常與掃描電子顯微鏡（SEM）結合使用，可以對樣品進行微區成分分析。