ICP（電感耦合電漿）的形成原理是高頻電流產生磁場，通過點火產生火花，形成載流子（離子與電子），在電磁場作用下與氣體原子碰撞使之電離，載流子增加，氣體導電率提高，在垂直於磁場方向上產生渦流，強大的電流產生高熱，使氣體溫度迅速升高，達到電漿的形成條件。
ICP主要由感應線圈產生高頻電磁場，工作氣體（如氬氣）在高頻電磁場的作用下形成電漿，並呈現火焰狀放電。這種電漿具有環形結構、高電子密度、惰性氣氛等特點，常用作原子發射光譜分析的激發光源。在測量過程中，樣品由載氣引入霧化室霧化後，以氣溶膠形式進入電漿的中心通道，在高溫惰性氣氛中被充分蒸發、原子化、電離和激發，使所含元素髮射各自的特徵譜線，根據這些譜線的存在與否，可以進行定性分析，而通過譜線的強度，可以進行定量分析。