微機電系統
MEMS是微機電系統(Micro-Electro-Mechanical System)的縮寫。
MEMS是一種高科技裝置，其尺寸通常在幾毫米乃至更小，內部結構一般在微米甚至納米量級，是一種獨立的智慧型系統。MEMS基於微電子技術（半導體製造技術）發展起來，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、矽微加工、非矽微加工和精密機械加工等技術製作的高科技電子機械器件。MEMS主要由微型感測器、執行器、信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源等部分組成，是一種可批量製作的微型機構。MEMS技術在消費電子、汽車電子、工業、醫療、航空航天等多個領域得到廣泛套用。