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pvd方法

物理氣相沉積(PVD)是一種表面處理技術,主要通過在真空條件下,採用物理方法將材料源(如固體或液體)表面氣化成氣態原子或分子,或部分電離成離子,並通過低壓氣體(或電漿)過程,在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜。

PVD技術主要分為三大類:真空蒸鍍真空濺射鍍膜真空離子鍍膜。此外,還有其他方法,如電弧電漿鍍膜離子鍍膜分子束外延等。主要的PVD設備包括真空蒸發鍍膜機、真空濺射鍍膜機和真空離子鍍膜機。

PVD技術具有多種優點,如高硬度、低摩擦係數、良好的耐磨性和化學穩定性等。這項技術廣泛套用於電子、通信、汽車、航空航天等領域,用於製造各種高性能的薄膜材料。