SEM（掃描電子顯微鏡）和VC（真空電子顯微鏡）的原理有所不同，以下是詳細介紹：
SEM。SEM成像利用電子束掃描樣品表面，使其產生多種信號，如X射線、俄歇電子、二次電子和背散射電子等。其中，二次電子因其較高的成像解析度而廣泛套用於SEM成像。當電子束撞擊樣品表面時，會發生非彈性碰撞，一些核外電子獲得能量並被彈射到樣品表面，這些電子稱為二次電子。SEM機台內部裝有檢測這些二次電子的探頭，從而實現成像。
VC。VC使用電子槍加速電子，並通過電磁透鏡系統將電子束聚焦在樣品上。與SEM不同，VC的電子束在樣品表面發生的是彈性散射，而不是非彈性碰撞。VC主要利用電子與樣品原子的相互作用產生俄歇電子和特徵X射線作為主要信號。俄歇電子能提供有關樣品表面元素的信息，而特徵X射線則用於元素分析。