spm清洗

SPM清洗是一種使用硫酸和過氧化氫混合液（H2SO4/H2O2）的清洗過程，通常在120至150℃的溫度下進行。SPM具有強大的氧化能力，能夠將金屬氧化並溶於清洗液中，同時將有機物氧化生成二氧化碳和水。這種清洗方法可以有效去除矽片表面的重金屬有機污染物和部分金屬。然而，當有機物污染特別嚴重時，可能會導致有機物碳化，從而難以徹底清除。此外，經過SPM清洗後，矽片表面可能會殘留硫化物，這些硫化物很難用去離子水沖洗掉。