透射電子顯微分析（TEM）是一種利用電子束代替光束進行照射的顯微技術，具有比光學顯微鏡更高的解析度和放大倍數。其原理如下：
TEM使用電子槍發射的高能電子束照射樣品。
電子束穿透樣品後，攜帶樣品的微區結構及形貌信息。
這些信息經過成像透鏡系統放大後，在螢光屏上顯示成放大圖像。
通過電子衍射理論和技巧，TEM還可以進行晶體結構的分析。
TEM的主要優點包括其高解析度和適合於觀察樣品內部的超微結構。它被廣泛套用於材料科學、生物學、地質學等領域，用於研究納米材料、超薄細胞組織、半導體材料等。TEM的分辨能力可以達到亞原子級別，遠高於光學顯微鏡。
此外，TEM還配備了各種輔助技術和設備，如STEM（掃描透射電子顯微術）、EDS（能量散射譜儀）、EFTEM（能量過濾透射電子顯微術）等，這些技術可以提供更全面的材料表徵，包括元素分析、化學成分分析以及電子能量損失譜等。