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wafer厚度

晶圓wafer)的厚度隨著其直徑的增加而增加,以下是不同直徑晶圓的典型厚度:

4英寸晶圓:約520微米(um)

6英寸晶圓:約670微米

8英寸晶圓:約725微米

12英寸晶圓:約775微米

18英寸晶圓:預計約925微米

在晶圓加工完成後,根據封裝需求或客戶要求,其厚度可能會進一步減少。例如,用於小尺寸封裝的晶圓可能會被研磨至約130微米,而對於功率器件,為了有利於散熱,其厚度可能會被進一步減薄。

封裝過程中,對於晶圓的最小厚度有嚴格要求,通常不會低於100微米,而封裝需求一般要求晶圓厚度在200微米左右。這種厚度的調整是為了滿足不同的技術要求和實際套用需求。