XRD（X射線衍射）定量分析是一種用於確定混合物中各物相含量的技術。其原理基於衍射線的相對強度與物相含量之間的正比關係。當某一物相的含量增加時，其衍射線的強度也會相應提高，從而可以通過測量衍射線的強度來確定物相的含量。
定量分析的方法包括：
外標法：使用純物質的衍射峰強度作為標準，與未知樣品中的相應衍射峰強度進行比較，以確定未知樣品中該物質的含量。
內標法：在未知樣品中加入一種或多種內標物質，這些內標物質的衍射峰強度已知，通過比較內標物質和待測物質的衍射峰強度來確定未知樣品中待測物質的含量。
標準加入法：在未知樣品的不同部分加入已知量的某一標準物質，然後進行XRD分析，通過比較加入前後該標準物質衍射峰強度的變化來確定樣品中該物質的含量。
RIR值法（RIR，Relative Intensity Ratio）：這是一種較為簡單的方法，通過比較未知樣品中某物質的衍射峰強度與內標物質的衍射峰強度來確定該物質的含量。RIR值法假設內標物質的衍射峰強度為100%，然後測量未知樣品中某物質的衍射峰強度與之相比較。
此外，精密測定點陣參數也是XRD定量分析的一個重要方面。點陣常數是晶體物質的基本結構參數，其測定是通過X射線衍射線的位置（θ）的測定而獲得的。通過比較不同物相的點陣參數，可以進一步驗證和確認物相的存在和含量。