化工技術
氣相沉積技術是一種化工技術，它通過在工件表面形成一層具有特殊性能（例如超硬耐磨層或特殊的光學、電學性能）的金屬或化合物塗層來改變工件表面成分。這種技術可以在工件表面覆蓋一層厚度約為0.5~10μm的過渡族元素（如鈦、釩、鉻、鋯、鉬、鉭、鈮和鉿）以及碳、氮、氧和硼的化合物。氣相沉積技術可以分為兩大類：化學氣相沉積（CVD）和物理氣相沉積（PVD）。
化學氣相沉積（CVD）：在含有薄膜元素的氣相化合物或單質存在的情況下，通過在襯底表面進行化學反應來生成薄膜。
物理氣相沉積（PVD）：在真空條件下，通過物理方法使材料汽化成原子、分子或電離成離子，並通過氣相過程在材料表面沉積一層薄膜。
氣相沉積技術已廣泛套用於模具表面強化，以及其他需要表面硬化處理的領域。例如，TiC和TiN是常用的沉積層，用於模具的表面硬化處理。