表面光潔度是表面粗糙度的舊標準和另一稱法。
表面光潔度主要是從人的視覺觀點出發，對錶面平整度和清潔度的一種描述，而表面粗糙度則是從表面微觀幾何形狀的實際特徵來描述。表面光潔度的概念是基於視覺上的平滑和清潔，並不符合國際標準（ISO），因此，在中國80年代後，表面光潔度的概念被淘汰，轉而採用表面粗糙度這一更科學嚴謹的術語。表面粗糙度是指加工表面上的微觀幾何形狀特徵，如微小的峯谷和間距，這些特徵用肉眼難以察覺，屬於微觀幾何形狀誤差。表面粗糙度的測量和控制在不同領域，如電子、半導體、光學、飛行器、汽車、機械等，有着不同的要求和標準。