光刻掩膜板或光罩
光刻板，也 稱 為光刻掩膜板或光罩，是 積體電路 製造中的 關 鍵 組件。它的主要作用是在光照作用下，通 過光致抗 蝕 劑（光刻 膠） 將掩膜版上的 圖形 轉移到基片上。光刻板的 製作通常涉及在石英板上 鍍上呈某 種 圖案排列的 鉻金 屬，其中石英透光而金 屬不透光。 當紫外光透 過光刻板照射到光刻 膠上 時，被照射的地方化 學性 質 會 發生 變化，未被照射的地方 則保持不 變。通 過 顯影液 處理 後，性 質 變化的部分 會被溶解去除， 從而暴露出下面的材料， 這部分材料在刻 蝕液中被刻 蝕掉，形成有效的 電路 圖形。
光刻板的 設 計和 製作 過程非常精密，涉及到 圖形 標 識、 結 構、保 護膜的功能和材 質、保 護膜厚度 對成像性能的影 響、 對準 標 記的 設 計以及光刻版 設 計流程等多 個方面。