方波失真的原因主要包括以下幾個方面：
信號發生器的限制：信號發生器的輸出能力有限，可能無法完全產生理想的方波信號。在產生方波時，信號發生器可能會受到電壓、電流、頻率和阻抗等方面的限制，導致方波信號的失真。
傳輸線路的影響：方波信號在傳輸過程中會受到線路的影響，導致波形失真。傳輸線路的電容和電感效應可能會引起方波的上升沿和下降沿變緩，從而產生失真。
無源探頭的使用：在使用無源探頭進行測量時，如果未進行探頭校準，探頭的電容與示波器輸入電容之間可能不匹配，這會導致阻抗不匹配，引起高頻分量的反射，進而導致方波失真。
高頻分量的損失：方波中包含高頻分量，如果在測量過程中高頻分量損失了，也會導致方波失真。
綜上所述，方波失真可能是由於信號發生器的限制、傳輸線路的影響、無源探頭使用時的校準問題以及高頻分量的損失等原因造成的。