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晶圓製造是什麼

晶圓製造,也稱爲wafer fabrication,是指在晶圓表面上或表面內製造出半導體器件的一系列生產過程。

晶圓是製作硅半導體電路所用的硅晶片,其形狀爲圓形,這一過程包括硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型等基本步驟,這些步驟完成後,晶圓被用作製造半導體芯片的基本材料,在晶圓上,可以加工製作成各種電路元件結構,形成具有特定電性功能的集成電路產品,晶圓製造涉及多種複雜的工藝,包括表面清洗、初次氧化、熱CVD、晶圓背面研磨工藝、除氮化硅離子注入法等,這些工藝提高了晶圓上電路的加工與製作的質量,製造完成的晶圓通常會被切割和封裝,以便於使用。