渦輪分子泵是什麼

渦輪分子泵是一種利用高速旋轉的動葉輪將動量傳遞給氣體分子，使氣體分子獲得定向流動，從而實現抽氣的機械真空泵。

這種泵通常在分子流狀態下工作，能夠提供極高的真空度，常用於高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度的製造工藝中。渦輪分子泵的特點包括快速啓動、能夠抵抗各種射線的照射、耐大氣衝擊、無氣體存儲和解吸效應、無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。