真空流量是指在真空系統中流動的氣體體積或質量每秒的流量。
它通常用單位時間內通過一個截面積的氣體體積或質量來表示。真空流量是衡量真空系統性能和穩定性的重要參數，對於氣體輸送、真空泵的選擇和使用以及反應室壓力的穩定控制都有重要意義。它描述了真空度狀態的變化，是衡量真空系統抽氣速度和洩漏速度的指標之一。
在規定的工作條件下（如壓力、溫度和氣體種類等），真空泵每單位時間內能夠抽取的氣體體積或質量稱為真空泵流量。這個流量表示真空泵的抽氣速度，對於維持低真空或高真空環境至關重要。不同的工藝需要的真空度不同，因此需要不同流量、不同類型的真空泵進行配合。