矽漏，或稱單晶爐漏矽，是指在半導體材料單晶矽的生產過程中，矽料從爐內洩漏出來的問題。以下是詳細介紹：
原因。這可能是由於坩堝材料不合格、製造工藝問題、操作環境不當或設備老化等原因導致。例如，坩堝材料如果純度不高、熱脹冷縮性能不穩定，或者製造過程中有氣泡和材料收縮率不匹配等問題，都可能導致漏矽。此外，操作環境中溫度變化過大或坩堝使用壽命過長也可能導致漏矽。
影響。漏矽不僅會影響晶體的純度和質量，還可能導致設備損壞和重大損失，會影響到晶體成品的外觀缺陷，主要表現在晶體表面輕微裂紋、氣泡、晶體不乾淨等方面。
處理方法。這包括關閉真空泵、手動復位面板、將氬氣進氣閥充至常壓、準備滅火器等應急措施，以及在日常操作中重視細節，如確認防爆閥正常、檢查石英堝無氣泡、白點等。
此外，還有採用新技術和改進操作方法等措施。