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磁控原理

磁控原理主要涉及磁場對帶電粒子(如電子和離子)的影響,以及這一影響在技術和科學領域的套用。磁控現象是指在磁場作用下,電子或離子因受到洛倫茲力的作用而運動受限,形成"磁控束"的現象。磁場中帶電粒子所受到的洛倫茲力方向與速度方向垂直,這就導致它們運動方向受到限制,很難脫離磁場。

磁控器是一種基於磁靶控制電子束流的儀器,主要由加速器、漂移管、導向磁鐵、靶材、控制系統等組成。當電子束從真空管產生並加速後,通過漂移管進入導向磁鐵區域,受到導向磁場的影響,將其限制在一定範圍內,並使其垂直地襲擊靶材,從而產生所需的輻射。

磁控管是一種電真空器件,主要用於產生微波能。它由一密封真空管組成,管內有一柱形中心陰極(電子源),置於一銅質環柱形陽極里。電子被靜電場吸引流至陽極。沿真空管軸的一穩定磁場使電子偏離其徑向路程,繞陰極旋轉,產生微波頻率的振盪。

磁控器的套用非常廣泛,包括半導體生產、真空技術、電漿技術等領域。在半導體生產中,磁控器可以用於蝕刻、離子注入等工序;在真空技術中,磁控器可以用於真空爐的熱處理、表面處理等工序;在電漿技術中,磁控器可以用於電漿刻蝕、表面改性等工序。