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背散射電子是什麼

背散射電子是指入射電子照射到樣品表面時,部分電子被樣品反射回來,這些反射的電子稱為背散射電子。

背散射電子根據與樣品中原子核或核外電子的相互作用類型,可以分為彈性背散射電子和非彈性背散射電子。彈性背散射電子是指與樣品原子核發生彈性碰撞的電子,其能量接近入射電子的能量。而非彈性背散射電子則是指與樣品原子核外電子發生非彈性碰撞的電子,其能量通常低於入射電子。

在掃描電子顯微鏡(SEM)中,背散射電子探測器會收集這些反射回來的電子,從而形成圖像,這種圖像常用於分析樣品的表面成分和結構。