臭氧分解的方法包括活性炭法、熱分解法、電磁波輻射分解法、藥液吸收法和催化分解法。具體如下：
活性炭法。使用活性炭作為吸附填料，主要適用於工業生產中低濃度臭氧的分解，但活性炭容易失去活性，需要經常更換或再生。
熱分解法。適用於高濃度臭氧的分解，通過將氣體加熱至400℃左右，使臭氧通過熱分解或燃燒發生氧化還原反應進行分解。
電磁波輻射分解法。利用紫外線或近紅外線照射臭氧，促使臭氧轉化為單線態氧，再轉化為基態氧氣。
藥液吸收法。使用硫代硫酸鈾或亞硫酸鈾等藥劑吸收臭氧，但存在廢液處理的問題。
催化分解法。利用催化劑（如二氧化錳、錳基複合金屬氧化物等）在常溫或較低溫度下快速催化分解臭氧，是目前較為理想和方法之一。
這些方法各有優劣，適用於不同的環境和條件。例如，活性炭法和熱分解法適用於工業環境，而催化分解法則適用於多種場合，具有較高的分解效率和經濟效益。