草酸二甲酯（DMO）制乙二醇（EG）的過程主要包括兩個步驟：
草酸二甲酯的合成。首先通過一氧化碳（CO）和亞硝酸甲酯在催化劑作用下反應生成草酸二甲酯和一氧化氮（NO）。這一步的反應方程式為2CO+2CH3ONO=（COOCH3）2+2NO。接著，生成的NO與甲醇和氧氣反應生成亞硝酸甲酯，反應方程式為2NO+2CH3OH+1/2O2=2CH3ONO+H2O。生成的亞硝酸甲酯返回偶聯過程循環使用，總反應式為2CO+1/2O2+2CH3OH=（COOCH3）2+H2O。
草酸二甲酯加氫製取乙二醇。草酸二甲酯加氫是一個串聯反應，首先DMO加氫生成中間產物乙醇酸甲酯（MG），MG再加氫生成乙二醇。總反應的主反應方程式為（COOCH3）2+4H2=（CH2OH）2+2CH3OH。
這個過程主要使用煤制合成氣作為原料，具有低成本、多產出、節能環保、經濟可循環的優點。