超微量元素分析是一種化學分析方法，專門用於測定樣品中含量極低的元素。這種分析通常涉及樣品的質量小於0.1毫克或體積小於0.01毫升的取樣量，因此要求分析技術非常高，需要特殊的儀器設備和超高靈敏度的分析方法。
超微量元素是指在植物體中含量非常低的元素，低於十萬分之幾，這些元素雖然不是植物的必需營養元素，但對植物生長可能有促進或毒害作用。例如，硒、錫、鋰、碘、鈷、銀、汞以及一些稀土元素都屬於超微量元素。
超痕量元素分析技術是一種更精細的微量元素分析技術，其檢測精度極高，可以達到0.1PPb（十億分之一），這種技術能夠更精確地檢測人體微量元素含量，甚至可以深入到生物組層、單個細胞或細胞膜內的微分布及其結合形式方面。