超精密磨削原理涉及多個方面，包括砂輪的特性、磨削過程中的材料去除機制以及磨削條件的選擇，以下是其具體介紹：
砂輪的特性。超精密磨削中使用的是經過精細修整的砂輪，其表面具有無數極細微的微刃，這些微刃具有一定的刻劃和切削作用。微刃的齒距大約為6微米，微刃的等高性，即所有微刃尖點都處於砂輪表面的同一圓周上，是保證磨削精度的重要條件。
磨削過程中的材料去除機制。在超精密磨削中，砂輪和工件之間保持一定的磨削壓力，通過微刃的強烈摩擦和拋光作用，使工件表面變得平滑，達到極低的表面粗糙度。此外，磨粒與工件的接觸過程包括彈性區、塑性區、切削區和最後的彈性區，這與切削形狀的形成一致。在磨削過程中，微切削作用、塑性流動、彈性破壞作用和滑擦作用會根據切削條件的變化而發生。
磨削條件的選擇。超精密磨削通常使用人造金剛石、立方氮化硼等超硬磨料砂輪，這些磨料能夠在高溫、高壓和高剪下力的環境下保持其性能。在磨削過程中，磨粒與工件的接觸是無規律的，因此單顆磨粒的磨削加工過程也是分析的重點。磨粒被視為具有彈性支承和大負前角切削刃的彈性體，在磨削過程中會經歷彈性區、塑性區、切削區、塑性區到最後的彈性區的轉變。
總的來說，超精密磨削是一個複雜的材料去除過程，涉及砂輪的物理特性、磨粒與工件之間的相互作用以及磨削條件的精細控制。通過這些機制的協同作用，可以實現高精度和低表面粗糙度的加工效果。