靶材是什麼

特殊的材料

靶材是一種特殊的材料，主要用於各種物理和化學過程中，通過特定的工藝手段，如磁控濺射、化學氣相沉積等，來製備薄膜。

靶材通常由高純度的金屬、合金或化合物製成，具有特定的形狀、結構和成分，在製備過程中，靶材被高速粒子流（如離子、電子等）轟擊，從而使材料原子或分子從靶材表面濺射出來，並沉積在基板上，形成所需的薄膜。靶材的套用非常廣泛，包括微電子、顯示器、存儲器和光學鍍膜等產業，對於新材料的研究和開發、工業生產和科學技術領域都有著重要的影響。